熱門檢測
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技術(shù)指標(biāo)
·掃描長度：≤10mm；
·垂直測量范圍（最大臺階高度）：≤1.9mm；
·掃描速度：2μm/s到200μm/s；
·掃描方式：探針雙向移動(dòng)、平臺靜止；
·采樣頻率：50Hz、100Hz、200Hz、500Hz、1000Hz，最大掃描數(shù)據(jù)采集點(diǎn)：100，000點(diǎn)；
·垂直范圍分辨率：550μm臺階高度內(nèi)測量分辨率0.328；
·掃描路徑：在160mm直徑范圍內(nèi)測量任意點(diǎn)；
·采樣平臺最大移動(dòng)范圍（手動(dòng)）：X軸：151mm，Y軸：80mm，Θ：360°；
·最大樣品厚度：21mm；
·最大樣品重量：1kg。
主要用途
Alpha-Step IQ 輪廓儀是一種計(jì)算機(jī)化的、高靈敏度的表面輪廓儀，可測量樣品粗糙度、波紋度和厚度，應(yīng)用范圍非常廣泛?？蓽y量各種材料，包括：
·磁盤
·半導(dǎo)體晶圓
·精密加工和拋光面
·微電子陶瓷
·平面顯示器玻璃
·光學(xué)表面
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