熱門(mén)檢測(cè)
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厚度是指研磨片或者拋光片的厚度。TTV是Total Thickness Variation的簡(jiǎn)稱，翻譯過(guò)來(lái)叫總厚度變化，即所所有測(cè)點(diǎn)的最大厚度與最小厚度的差值。拋光片表面總厚度變化是衡量拋光片表面質(zhì)量的重要幾何參數(shù)指標(biāo) ,對(duì)后序的器件工藝及集成電路工藝有著至關(guān)重要的影響。
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