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微管micropipe
4H或6H碳化硅單晶沿c軸方向延伸且徑向尺寸在一微米至幾十微米范圍的中空管道，稱為微管。 單位面積內(nèi)微管個(gè)數(shù)，記為MPD，單位為：個(gè)/cm2。
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