熱門檢測(cè)
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多晶由于沒有固定的晶向,具有晶界效應(yīng),測(cè)試多晶電阻率比測(cè)試單晶電阻率具有更復(fù)雜的工藝,用當(dāng)前的常規(guī)四探針電阻率測(cè)試法去測(cè)試多晶硅塊時(shí),其測(cè)量出來的電阻率由于受到晶界效應(yīng)的影響,往往無法放映其真實(shí)的電阻率值,當(dāng)前能避開晶界效應(yīng)影響的測(cè)試方法,只有使用無接觸渦流測(cè)試法.
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