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主摻雜質(zhì)、固態(tài)外擴散雜質(zhì)、氣相自摻雜質(zhì)、系統(tǒng)自摻雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)等五類雜質(zhì)源是外延層中的常見雜質(zhì)。主摻雜質(zhì)決定外延層的電阻率。固態(tài)外擴散、氣相自摻雜和系統(tǒng)自摻雜影響襯底界面附近的外延層雜質(zhì)濃度的深度分布。金屬雜質(zhì)在外延層中對器件有害。雜質(zhì)濃度檢測對外延層的整體品質(zhì)控制其著不可忽視的作用。
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