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               結(jié)晶質(zhì)量也叫結(jié)晶完整性,要求在有效直徑范圍內(nèi)都是單晶,位錯密度小于10000個/平方厘米,雙精搖擺曲線的半峰寬度(Fwhm)應小于30秒.           
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