HS-WDI研究級數(shù)碼金相顯微鏡


北京合能陽光新能源技術有限公司成功地設計開發(fā)出高性能HS-WDI型高級數(shù)碼正置金相顯微鏡。選用優(yōu)質的光學元件,使它具有出色的光學系統(tǒng)設計,可獲得高清晰的顯微圖像,成像效果可與進口顯微鏡媲美。高效優(yōu)異的數(shù)碼功能,成像清晰,實時視頻圖像,同步顯示,色彩清晰、真實。廣泛應用于多種太陽能和半導體等各個檢測領域。
產(chǎn)品應用:
HS-WDI型金相顯微鏡是針對高端用戶的需求而研發(fā)的,作為高級金相顯微鏡,可廣泛應用于金相材料檢驗、半導體硅片、太陽能硅片、電池片、薄膜電池、FPD、電路封裝、電路基板、鑄件/金屬/陶瓷部件、精密模具的檢測。本儀器采用超大視場高級明暗場物鏡,超長工作距離,高清晰視野。穩(wěn)定、高品質的光學系統(tǒng)使成像更清晰,襯度更好。用戶在使用時能夠體驗其超強性能,使您在工作中感到舒適和放松。
儀器特點:
? 金相顯微鏡鏡體:穩(wěn)定的底座及載物臺,確保良好的機械穩(wěn)定性,防震動設計。各種調節(jié)及控制部件使用方
便,功能擴展性強,適合金屬材料領域的研究、微電子及半導體硅片的研究檢測、工礦企業(yè)檢驗使用。
? 采用正置式,最新的國際標準無限遠光學系統(tǒng).
? 光源及光路采用長壽命高亮度鹵素燈,帶調光裝置??讖焦怅@和視場光闌中心和大小可調。使用壽命在1000小時以上。鏡體內置電壓平衡系統(tǒng),使圖像不會因電壓變化而閃爍。濾色片系統(tǒng):配置日光矯正中性濾光片、藍色濾光片、綠色濾光片;目鏡配置測微尺0.01mm,用于長度等的測量及定標。
? 目鏡采用10倍高眼點超大視場雙目觀察,視場數(shù)不低于25mm,目鏡可根據(jù)使用者的曲光度進行調節(jié)。
? 物鏡采用最新高精度長工作距離無限遠平場復消色差明場/暗場金相物鏡,三重色差校正,獨立克服色差像
差。使用高折射率低色散螢石材料及特殊鍍膜技術,能夠具有高分辨率、高對比度,良好的色彩還原;物鏡組環(huán)均為全金屬部件,保證物鏡內多組透鏡光軸長期使用不偏移。光學部件鍍膜具有防霉功能。
? 物鏡轉換器為四孔式,能夠同時安裝明場和偏光、定位精確、轉換物鏡視場不漂移。
? 數(shù)碼系統(tǒng)采用工業(yè)原裝彩色數(shù)字CCD攝像頭,與顯微鏡匹配使用,不低于300萬有效象素,保證實時采集
到高清晰度、高色度和高色彩還原度圖片。
技術參數(shù):
1. 目 鏡
|
目 鏡 |
放大倍數(shù) |
視場(mm) |
|
大視場高眼點平場目鏡 |
10× |
∮25 |
|
帶十字線刻度分劃目鏡 |
10× |
∮20 |
2. 物 鏡(標配4個)
|
物鏡 |
放大倍數(shù) |
數(shù)孔直徑 |
工作距離(mm) |
|
長工作距離 無限遠平場 明場/暗場 金相物鏡 |
5× |
0.15 |
26.4 |
|
10× |
0.25 |
16.0 |
|
|
20× |
0.40 |
10.6 |
|
|
40× |
0.50 |
5.4 |
|
|
100× |
0.80 |
3.0 |
3.光學系統(tǒng):采用了UIS高分辨率、長工作距離無限遠光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術。
4.放大倍數(shù):50X-1000X
5.觀測方式:明場/暗場觀測、偏光觀測、微分干涉觀察(選配)。
6.轉 換 器:內定位四孔轉換器
7.調焦系統(tǒng):粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構,微動格值0.002mm
8.偏光裝置:檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡檢偏鏡均可移出光路
9.濾光裝置:插板式濾色片(綠、藍、中性)
10.載物臺測微計:0.01mm,可用于測量微觀尺寸
11.分劃目鏡:0.1mm,與載物臺測微計配合使用,測量樣品尺寸
12.載 物 臺:二維移動載物臺,低位同軸手輪操作X、Y移動范圍:150mm×180mm
13.照明系統(tǒng):采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度,帶孔徑可變光欄和視場可變光欄
14.電源系統(tǒng):90-260V / 50-60Hz
15.數(shù)碼系統(tǒng):300萬像素彩色CCD系統(tǒng)、轉接鏡頭、USB直接與電腦連接,方便快捷
16.測量軟件:可實現(xiàn)對集成電路的線寬、線距、角度、兩點間距離、圓、平行線間距離、
任意曲線長度、任意多邊形等的幾何尺寸測量。精度可達±1μm. 可拍照數(shù)碼
照片進行分析、存儲、處理等。
儀器配置表
|
顯微鏡型號 |
HS-WDI |
|||
|
放大倍數(shù) |
50×、100×、400×、1000× |
|||
|
序號 |
部件名稱 |
單位 |
數(shù)量 |
備注 |
|
1 |
金相顯微鏡本體 |
臺 |
1 |
|
|
1.1 |
顯微鏡鏡體 |
件 |
1 |
帶三目觀察頭 |
|
1.2 |
高眼點視度可調超大場目鏡 |
個 |
2 |
視場范圍不小于25mm |
|
1.3 |
長工作距離無限遠平場復消色差 明/暗場金相物鏡 |
個 |
1 |
5×/0.20 HD 工作距離≥29.5mm |
|
個 |
1 |
10×/0.25 HD工作距離≥16.5mm |
||
|
個 |
1 |
40×/0.50HD工作距離≥5.4mm |
||
|
個 |
1 |
100×/0.80HD工作距離≥3.0mm |
||
|
1.4 |
轉換器 |
件 |
1 |
內定位四孔轉換器 |
|
1.5 |
機械載物臺 |
件 |
1 |
X方向 尺寸180mm |
|
件 |
1 |
Y方向 尺寸150mm |
||
|
1.6 |
三維可調節(jié)燈室 |
|
|
聚光透鏡可通過旋鈕前后移動,反光盒可通過旋鈕進行三維調節(jié)移動 |
|
1.7 |
3位反射功能模塊盒 |
件 |
1 |
帶有孔徑光闌和視場光闌 中心和大小可調 |
|
1.8 |
偏光裝置 |
件 |
1 |
起偏片,可移出光路 |
|
件 |
1 |
檢偏片,可360°旋轉 |
||
|
1.9 |
明&暗場反射功能模塊 |
件 |
1 |
明/暗場反射光路 |
|
1.10 |
長壽命高亮度鹵素燈 |
個 |
1 |
12V 50W ; 配有電壓平衡系統(tǒng) |
|
1.11 |
日光色差矯正濾色片 |
片 |
1 |
可隨意移出移進光路 |
|
1.12 |
藍色矯正濾色片 |
片 |
1 |
可隨意移出移進光路 |
|
1.13 |
綠色矯正濾色片 |
片 |
1 |
可隨意移出移進光路 |
|
1.14 |
數(shù)碼接口適配鏡頭 |
件 |
1 |
連接數(shù)碼裝置 |
|
2 |
測微尺 |
件 |
1 |
0.01mm |
|
3 |
數(shù)碼攝像頭 |
件 |
1 |
不低于300萬像素彩色CCD |
|
4 |
防塵罩 |
件 |
1 |
|
|
選 配 |
|
|||
|
1 |
專業(yè)金相分析軟件 |
|
|
見詳細說明資料 |
|
2 |
電腦 |
|
|
內存大于1G,處理器速度大于2G |
|
3 |
打印機 |
|
|
打印清晰照片 |