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性能參數(shù): 1. 全元素分析(H—U) 2. 同位素分析(所有元素) 3. 高靈敏度(優(yōu)于1ppm,多數(shù)元素可達(dá)1ppb 4. 深度剖析(深度分辨率可達(dá)2nm) 5. 二次離子圖像分析(分辨率優(yōu)于1μm