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1、方法原理
原理：利用硅區(qū)熔時(shí)硅中磷硼有效分凝系數(shù)的差別及磷硼從硅中蒸發(fā)系數(shù)的差別。
方法：氣氛區(qū)熔法。
2、試樣制備
2.1 取樣部位
除在橋形硅多晶棒硅芯達(dá)接或者直的硅多晶棒離石墨卡頭10mm一段外均可取樣。
2.2 試樣尺寸
直徑：10-40mm
長度：20-200mm
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