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當(dāng)前位置:檢測(cè)儀器 >> 四探針
                

       

        使用直流四探針?lè)y(cè)量和分析硅晶片、擴(kuò)散層、   金屬層的電阻率和薄膜電阻。

        適用晶片尺寸:2"~8";
        數(shù)字電壓表量程:0—199.9mV  靈敏度:100μV  輸入阻抗:1000ΜΩ   基本誤差±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度)

        電阻率范圍:10—3 —1×103Ω·cm。
        方塊電阻范圍:102 —1×104Ω/□。
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