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藍(lán)寶石和碳化硅品質(zhì)提升解決方案 >> 平整度精確檢測(cè)解決方案
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平整度檢測(cè)方案
平整度是晶片很重要的參數(shù)，直接決定了片子合格與否，檢測(cè)平整度的方法很多，但目前看來(lái)國(guó)際還是依托于SEMI標(biāo)準(zhǔn)。參數(shù)的定義，檢測(cè)的精度都是需要認(rèn)真考慮的。
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