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硅單晶電阻率標準片(以下簡稱標準樣片)是用高純多晶硅,經(jīng)過單晶設(shè)備,再經(jīng)中子嬗變摻雜等多種工藝制造的,具有一定幾何尺寸的實物標準.由不確定度已知的標準裝置,對該實物標準的電阻率及其他指標給予標定,使用時以標準樣片為準,對相關(guān)參數(shù)進行量值傳遞. 標準樣片的各項指標要求： 標準樣片的表面質(zhì)量及幾何尺寸：
硅單晶電阻率標準片(以下簡稱標準樣片)是用高純多晶硅,經(jīng)過單晶設(shè)備,再經(jīng)中子嬗變摻雜等多種工藝制造的,具有一定幾何尺寸的實物標準.由不確定度已知的標準裝置,對該實物標準的電阻率及其他指標給予標定,使用時以標準樣片為準,對相關(guān)參數(shù)進行量值傳遞.
標準樣片的各項指標要求：
標準樣片的表面質(zhì)量及幾何尺寸：
